? 概述

☆ 何為真空測量

☆ 真空測量即是真空度的測量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體淡薄程度。以壓力表明真空度是由于歷史上沿襲下來的，并不非常合理。

☆ 壓力高意味著真空度低；反之，壓力低與真空度高相對應真空測量包含全壓力測量、分壓力測量和真空計校準三個有些。

☆ 用以勘探低壓空間淡薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計這篇文章所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測量。

☆ 壓力是一個力學量，為單位面積所接受的力大氣壓力為101325Pa，直接測量這么大的壓力是簡單的，但在真空技能中，測量這么大的壓力是比較少的。

☆ 真空技能中遇到的氣體壓力都很低，如有時要測lO-10pa的壓力，這么極小的壓力用直接測量單位面積所接受的力是不可能的。

☆ 因而，測量真空度的方法通常是在氣體中構成必定的物理現象，然后測量這個過程中與氣體壓力有關的某些物理量，再設法直接斷定出實在壓力來。

☆ 真空計品種繁復，作業原理各異，除極少數幾種是直接測量壓力外，其它簡直都是直接測量壓力的。

被測量氣體除少數狀況外，多為混合氣體。

☆ 上述壓力測量是指混合氣體全壓力測量在近代真空測量技能中，分壓力測量越來越重要。這兒所說的分壓力測量是指全部地測出混合氣體各構成成分的分壓力這么，混合氣體的全壓力就等于其各構成成分的分壓力之和。

☆ 現代分壓力真空計都歸于電離類，即先將氣體電離，然后將所得的各成分離子加快，再把離子引入分析器，將離子分隔，別離測出各成分離子流強度，便可知氣體的 成分和數量。

☆ 分析器有磁的、電的、電磁聯系和其它方法等有時只需知曉被測體系剩余氣體成分和相對含量，并不請求測出分壓力值，這種儀器稱為剩余氣體分析 儀。

☆ 準確的壓力測量有必要對真空計進行校準、由于大都真空計是經過與壓力有關的物理量來直接反響壓力，而不能直接經過真空計有關參數計算求 得壓力值。

☆ 這種真空計有必要用規范真空計或能發生已知低壓的校準設備進行校準。可以說，真空計校準是真空測量的根底，是開展真空測量的有力東西。

☆ 真空計量用具分三類：計量基準用具、計量規范用具和作業計量用具前兩類用于復現和傳遞真空度量值，一致全國真空量值；然后一類是在現場使用三種計量用具的不斷定度順次下降。

☆ 真空度的表征及單位：用壓力表明真空度是由歷史上選用U型壓力計測量真空所構成的，這并不非常合理。

☆ 在通常真空體系中，通常以各向同性的中性氣體的壓力這一流體靜力學的物理量表明真空度，因而，真空度的測量僅僅歸結于壓力的測量。但格外應留意測量條件。

☆ 測量的對象是在有限的容器內、停止(隨機運動)、穩態、各向同性單一的中性氛圍在這種狀況下，麥克斯威速度散布、余弦散射規律和流體靜力學壓力概念( p = nkT，v = 1/4nc，p = ρgh)都較好地契合客觀實踐，真空度的測量也比較簡單簡單。

☆ 依據真空度界說，真空度最佳 用分子密度n表明，而以壓力表明真空度與此并不矛盾。測量壓力時，通常氣體處于平衡態并滿意麥克斯威速度散布規律，即 p = nkT 建立。

☆ 測量時氣體溫度T必定，所以氣體壓力p正比于分子密度n也即是說，此刻壓力是分子密度的測量，所以可以用壓力表明真空度。

☆ 在空間研討中，研討對象是無限空間運動(1～lOkm·s-1或更高)、非穩態、歸納環境效果下的雜亂氛圍，此刻麥克斯威速度散布規律和余弦散射規律就不必定建立，所以壓力也失掉了本來的物理含義，真空度的測量比較雜亂和困難了。

☆ 在通常狀況下，以壓力表明真空度是盛行、沿襲的，但也不是僅有的，還可以用如下參數表明真空度：

當真空度很高時，即分子密度很小時，計算漲落非常顯著，如壓力 p = 10-12pa時，計算漲落已大于5×10-2，壓力已失掉實在含義。

☆ 由此看來，在某些狀況下，壓力僅僅其它量的相對指示罷了依據氣體分子對外表磕碰而界說的氣體壓力，是磕碰單位外表積氣體分子動量筆直重量的時刻改變率，即單位面積上所受的力，單位為“帕斯卡”(Pascal)，簡稱“帕”(Pa)。

☆ 在工程上有時嫌帕的量值太小，常選用kPa和MPa表明壓力低真空時，有時用“真空度百分數”表明，比如水環式真空泵、往復式真空泵和直排大氣羅茨真空泵常用此單位表明真空度當壓力p>102Pa時，真空度百分數δ為。