正航儀器介紹氣體捕集式真空泵
時間:2015-12-15 作者:網絡編輯 點擊:次
? 體捕集式真空泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵內外表上的真空泵,可分以下幾種型式吸附泵,它是依托具有大外表積的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附效果來抽氣的一種捕集式真空泵。
? 吸氣劑泵,它是一種使用吸氣劑以化學方法捕獲氣體的真空泵,吸氣劑一般是以塊狀或堆積新鮮薄膜方法存在的金屬或合金。
? 例如鈦提高泵和鋯鋁吸氣泵歸于這種類型。
? 吸氣劑離子泵,它是使被電離的氣體經過電場或電磁場的效果吸附在吸氣資料的外表上,以到達抽氣意圖的。
? 它有如下兩種型式:
? 蒸騰離子泵:泵內被電離的氣體吸附在以接連或接連方法提高(或蒸騰)而覆在泵內壁的吸氣資料上,以完成抽氣的一種真空泵例如軌旋式離子泵(或稱彈道式鈦泵)。
? 濺射離子泵:泵內被電離的氣體吸附在由陰極接連濺散出來的吸氣資料上以完成抽氣意圖的一種真空泵泵,它是使用低溫外表捕集氣體的真空泵。
? 下面介紹幾種典型的氣體捕集式真空泵。